Cincoze-Industriemonitore verbessern die Prozessvisualisierung in Plasma-Resistripanlagen der Halbleiterfertigung
Die Halbleiterfertigung stellt höchste Anforderungen an die Stabilität der Anlagen, die Effizienz der Fertigungsprozesse und den zuverlässigen Langzeitbetrieb. Der Endkunde dieses Projekts ist ein renommierter Anbieter von Prozessanlagen für die Halbleiterindustrie in Nordostasien. Sein Portfolio umfasst Anlagen für die Front-End-Waferfertigung. Die Plasma-Resiststrip-Technologie – das Entfernen des Fotolacks (Photoresist) nach Lithografie- und Ätzprozessen - zählt zu den Kernkompetenzen des Unternehmens. In diesem Segment gehört es seit vielen Jahren zu den weltweit führenden Anbietern.
Plasma-Resiststripanlagen sind ein unverzichtbarer Bestandteil der Front-End-Halbleiterfertigung. Sie entfernen nach der Lithografie und dem Ätzprozess den Fotolack sowie organische Prozessrückstände von den Wafern. Um stabile Fertigungsprozesse, einen hohen Wafer-Durchsatz, niedrige Gesamtbetriebskosten (Total Cost of Ownership, TCO) und einen zuverlässigen Dauerbetrieb sicherzustellen, müssen die integrierten Prozessmonitore Prozessdaten und Bearbeitungsergebnisse jederzeit zuverlässig visualisieren. So können Bediener den Anlagenstatus in Echtzeit überwachen, den Fertigungsprozess kontinuierlich kontrollieren und eine gleichbleibend hohe Produktionsqualität gewährleisten.
Für dieses Projekt werden jährlich mehr als 100 industrielle 17"-Monitore vom Typ Cincoze CV-117R/M1101 direkt in die Resiststripanlagen integriert und als Prozessmonitor eingesetzt.
Produktanforderungen
Industrieller 17“-Touchmonitor im 5:4-Format
Der Kunde benötigte einen industriellen 17"-Touchmonitor im Seitenverhältnis 5:4 für den Einbau in eine Plasma-Resiststripanlage mit fest definiertem Bauraum und vorgegebener Bedienoberfläche. Eine kontrastreiche Darstellung und die intuitive Touch-Bedienung ermöglichen die permanente Visualisierung von Anlagenstatus, Prozessparametern und Bearbeitungsergebnissen. Dadurch lassen sich Prozesszustände in Echtzeit überwachen, Parameter gezielt anpassen, die Prozesskontrolle verbessern und Fehlinterpretationen von Prozessdaten vermeiden.
Unterstützung mehrere Display-Signaleingänge
Der Touchmonitor muss mehrere Display-Signaleingänge, einschließlich HDMI und DisplayPort, unterstützen, um Videosignale von verschiedenen Anlagensteuerungen zu empfangen und den Anlagenstatus, Prozessparameter sowie Verarbeitungsergebnisse klar darzustellen. Gleichzeitig entfällt der Einsatz zusätzlicher Adapter, wodurch sich die Integration in die Anlage vereinfacht und die Inbetriebnahme beschleunigt.
Hohe Zuverlässigkeit und EMV-Schutz
Resiststripanlagen arbeiten in einer Umgebung mit starken elektromagnetischen Störquellen wie HF-Generatoren, Antriebsmotoren und Steuerungen. Deshalb muss der integrierte Touchmonitor eine hohe elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) sowie eine ausgeprägte Störfestigkeit aufweisen. Nur so bleiben Bilddarstellung und Touch-Funktion auch unter anspruchsvollen Einsatzbedingungen zuverlässig verfügbar. Gleichzeitig sinkt das Risiko ungeplanter Anlagenstillstände und die Anlagenverfügbarkeit wird erhöht.
Warum Cincoze?
Umfassendes Display-Portfolio für vielfältige Anlagenkonfigurationen
Die Produktfamilie Display Computing – CRYSTAL bietet ein breites Spektrum industrieller Displaylösungen. Das Portfolio reicht von Industriemonitoren für den Innenbereich über High-Brightness-Displays für Außenanwendungen und Open-Frame-Monitore bis hin zu industriellen Panel-PCs.
Mit nahezu 300 Produktkonfigurationen – darunter Bildschirmgrößen von 8″ bis 24″, verschiedene Seitenverhältnisse wie 4:3, 5:4 und 16:9, resistiver Single-Touch- oder kapazitiver Multi-Touch-Technologie sowie Installationsoptionen wie Panel Mount, VESA Mount und Rack Mount – können Kunden schnell die passende Lösung für ihre Anwendung auswählen. Dadurch werden die Designflexibilität erhöht und die Effizienz bei der Integration in Anlagen verbessert.
Umfangreiche Schnittstellen vereinfachen die Anlagenintegration
Die Industriemonitore von Cincoze unterstützen DisplayPort-, HDMI- und VGA-Eingänge und können Videosignale unterschiedlichster Anlagensteuerungen verarbeiten. Anlagenstatus, Prozessparameter und Bearbeitungsergebnisse werden klar und zuverlässig dargestellt.
Für die Touch-Kommunikation mit der Anlagensteuerung stehen zusätzlich USB- und serielle COM-Schnittstellen zur Verfügung. Dadurch werden zusätzliche Adapter in vielen Anwendungen überflüssig, was die Integration vereinfacht und den Wartungsaufwand reduziert.
Robustes Industriedesign mit UL-Zertifizierung und EMV-Konformität
Der Industriemonitor CV-117R/M1101 verfügt über eine robuste Frontblende aus Aluminiumdruckguss, frontseitige Schutzart IP65 sowie einen erweiterten Betriebstemperaturbereich von -20 °C bis +70 °C. Damit eignet er sich für den dauerhaften Einsatz in Halbleiteranlagen und widersteht Reinigungs- und Wartungsarbeiten ebenso wie den Temperaturschwankungen industrieller Produktionsumgebungen.
Darüber hinaus besitzt der Monitor eine UL-Sicherheitszertifizierung und erfüllt die EMV-Anforderungen der Normen EN 61000-6-2 und EN 61000-6-4 für industrielle Umgebungen. Dadurch gewährleistet er auch unter den anspruchsvollen Bedingungen einer Plasma-Resiststripanlage eine stabile Bilddarstellung und eine zuverlässige Touch-Bedienung.
Q&A
Q1：Welche EMV- und Sicherheitszertifizierungen sollten Industriemonitore für Halbleiteranlagen erfüllen?
A：
Industriemonitore für Prozessanlagen der Halbleiterfertigung sollten über eine UL-Zertifizierung verfügen und die EMV-Normen EN 61000-6-2 sowie EN 61000-6-4 erfüllen. Die UL-Zertifizierung bestätigt die elektrische Sicherheit und minimiert Risiken wie Stromschlag, Überhitzung oder Brand. Die Einhaltung der EMV-Normen stellt sicher, dass der Monitor elektromagnetischen Störungen standhält, ohne benachbarte Anlagenkomponenten zu beeinflussen. Dadurch wird ein zuverlässiger Langzeitbetrieb gewährleistet.
Q2：Warum werden in Plasma-Resiststripanlagen industrielle Touchmonitore eingesetzt?
A：
Im Vergleich zu handelsüblichen Displays sind industrielle Touchmonitore speziell für den Einsatz in Umgebungen mit starken elektromagnetischen Störungen durch HF-Generatoren, Motoren und Steuerungen ausgelegt. Sie gewährleisten auch im Dauerbetrieb eine stabile Bilddarstellung und eine zuverlässige Touch-Bedienung. Dadurch lassen sich ungeplante Anlagenstillstände reduzieren und Prozessparameter effizient überwachen und anpassen.
Q3：Welche Eigenschaften sollte ein Industriemonitor für Halbleiteranlagen aufweisen?
A：
Die Auswahl sollte sich nach den mechanischen Einbaubedingungen und der eingesetzten Software richten. Entscheidend sind Bildschirmgröße, Seitenverhältnis, Touch-Technologie, Montageart sowie die Unterstützung gängiger Videoschnittstellen wie HDMI, DisplayPort und VGA. Darüber hinaus sollten Industriemonitore über eine frontseitige IP-Schutzart, einen erweiterten Temperaturbereich, eine hohe EMV-Festigkeit sowie entsprechende Industriezertifizierungen verfügen, um einen zuverlässigen Langzeiteinsatz sicherzustellen.
